產品簡介
NE-RE08是一款幹法9I在线看片成人免费去膠設備,適用於2/4/6/8英寸晶圓光刻膠去除和灰化工藝。設備采用高密度RIE9I在线看片成人免费體刻蝕係統,具有去膠速率快、均勻性好、選擇比高、不錯的各向異性等性能優勢。
產品特點:1、設備采用RIE反應離子刻蝕模式,去膠速率快。2、全麵積工藝氣體入口噴淋頭,徑向(軸對稱)抽氣結構,確保能提升工藝均勻性和速率。3、水冷電極冷卻係統實現襯底溫度控製。4、直開式設計方便快速裝卸圓。
主要用途:1、用於8寸及以下的晶圓(SOI、SI、玻璃、銅片等其他半導體材料)正性及負性光刻膠去膠。2、聚酰亞胺光刻膠(PI)去膠。3、有機物去除。4、光刻工藝後,PR Descum 打底膜工藝
5、基片表麵9I在线看片成人免费活化(02\Ar)
產品參數
| 型號 | NE-RE08 |
| 9I在线看片成人免费發生器 | 13.56MHz/600W |
| 工作台尺寸 | 8inch(直徑203mm) |
| 適用晶片尺寸 | 8寸及以下(單片) |
| 刻蝕模式 | RIE |
| 均勻性 | ± 5% |
| 反應氣體 | 標準配置2路,最大可配置4路。 O2、Ar、N2,CF4,Cl2等氣體 |
| 電極冷卻方式 | 水冷 |
| 氣體流量控製 | 0-500sccm |
| 外形尺寸 | W670×D700×H1400(mm) |
| 電源 | AC220V,50/60Hz |
9I在线看片成人免费技術
Support
Copyright@ 2024深圳91看片入口在线观看科技有限公司 All Rights Reserved|
Sitemap
| Powered by
| 粵ICP備56486215號www.elangkongyaji.com | 備案號:粵ICP備56486215號www.elangkongyaji.com